最近遇到一些半导体类建设项目，针对大气污染物：磷化氢（PH3）、硅烷（SiH4）的排放标准作了一些资料性的收集。现在分享给大家。
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我通过网络检索，找到了重要的线索。在各级生态环境行政主管部门公示的半导体类建设项目环评文件中，磷化氢、硅烷的排放标准均参考执行《荷兰排放导则》（NeR）标准。
NeR，Netherlands Emission Guidelines for Air 的缩写，直译为“荷兰空气排放指南”，翻译为“荷兰排放导则”显得略为短小精悍了些。也许将《荷兰排放导则》翻译《荷兰空气排放指南》更准确一些。
根据 NeR 网页的简介，NeR 是荷兰的一项国家指南，起源可以追溯到 1990 年代德国的 TA Luft，旨在规定工业源排放到空气中的大多数物质的排放限值。该网页提供了多个版本的下载链接，除了一个 2007 年 11 月的英文版本，其余均为荷兰语版本。最新一个版本为 2014 年 8 月的荷兰语版本。本文怀抱“宁新勿旧”的理念，仅提供最新版本的文本下载链接。
- 正文部分：NeR augustus 2014；
- 附录部分：Bijlagen NeR augustus 2014。
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下面谈谈如何找到 NeR 中的磷化氢、硅烷的排放标准：
- 掌握正确的打开方式：磷化氢（荷兰语为 fosfine）CAS 登录号 7803-51-2、硅烷（荷兰语为 siliciumtetrahydride）CAS 登录号 7803-62-5。
- 在附录中搜索相应的 CAS 登录号，找到相应的条目。
- 排放要求（Emissie-eis）如下：磷化氢 0.5 mg/Nm3、硅烷 3 mg/Nm3。
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除此以外，我们还可以在世界银行（World Bank）发布的《半导体和其他电子产品制造业环境、健康与安全指南》中找到磷化氢的排放水平指导值：
- 磷化氢（标准状态下）排放指导值为 0.5 mg/m3。
世界银行给出的半导体行业磷化氢排放标准与 NeR 给出的排放标准一致。
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