《荷兰排放导则》(NeR)

最近遇到一些半导体类建设项目,针对大气污染物:磷化氢(PH3)、硅烷(SiH4)的排放标准作了一些资料性的收集。现在分享给大家。

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我通过网络检索,找到了重要的线索。在各级生态环境行政主管部门公示的半导体类建设项目环评文件中,磷化氢、硅烷的排放标准均参考执行《荷兰排放导则》(NeR)标准。

NeR,Netherlands Emission Guidelines for Air 的缩写,直译为“荷兰空气排放指南”,翻译为“荷兰排放导则”显得略为短小精悍了些。也许将《荷兰排放导则》翻译《荷兰空气排放指南》更准确一些。

根据 NeR 网页的简介,NeR 是荷兰的一项国家指南,起源可以追溯到 1990 年代德国的 TA Luft,旨在规定工业源排放到空气中的大多数物质的排放限值。该网页提供了多个版本的下载链接,除了一个 2007 年 11 月的英文版本,其余均为荷兰语版本。最新一个版本为 2014 年 8 月的荷兰语版本。本文怀抱“宁新勿旧”的理念,仅提供最新版本的文本下载链接

  • 正文部分:NeR augustus 2014;
  • 附录部分:Bijlagen NeR augustus 2014。

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下面谈谈如何找到 NeR 中的磷化氢、硅烷的排放标准:

  1. 掌握正确的打开方式:磷化氢(荷兰语为 fosfine)CAS 登录号 7803-51-2、硅烷(荷兰语为 siliciumtetrahydride)CAS 登录号 7803-62-5。
  2. 在附录中搜索相应的 CAS 登录号,找到相应的条目。
  3. 排放要求(Emissie-eis)如下:磷化氢 0.5 mg/Nm3、硅烷 3 mg/Nm3

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除此以外,我们还可以在世界银行(World Bank)发布的《半导体和其他电子产品制造业环境、健康与安全指南》中找到磷化氢的排放水平指导值:

  • 磷化氢(标准状态下)排放指导值为 0.5 mg/m3

世界银行给出的半导体行业磷化氢排放标准与 NeR 给出的排放标准一致。

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